Stage-Base 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统
- 型 号：Stage-Base
- 名 称：Stage-Base 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统
- 英文名称：
- 品 牌：TMC
- 发布时间：2023/8/31 10:17:08
- 咨询热线：0532-80982936
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Stage-Base 混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统
TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的*级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其*效的消振性能，它们还要求由平台引起的*效载荷运动能够非常快速地稳定，以*大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供先进的主动振动和运动*除系统。
特点
- 采用STACIS技术
- 采用可扩展的压电陶瓷致动器
- 负载的位置可重复性在微米范围内
- 可安装的框架设计
- 6个隔振自由度
- 可选的音圈电机前馈或反馈
- 主动隔振从0.6 Hz开始
- 快速的调节时间来响应平台运动
- 没有气浮支撑
- 通过US,B2.0与电脑的图形用户界面
- GUI连接的高速数字控制器
- 操作简单、性能稳健，性价比高
为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备严格的隔振要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。 Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常*效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而*大的提高隔振效率。由于用于快速设置调节时间来进一步增加隔振效率的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先进的主动振动和运动隔离系统。
根据支撑面的运动快速响应
* 给予支撑面300N力的作用下，负载加速度从0.8m/S2降至0.01m/s2的响应时间
* 模拟 VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s)振动测试，负载为1540磅 (700 kg)
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